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輪廓測量系統(tǒng)Z1軸（檢出器）測量范圍60 mm（水平狀態(tài)±30mm）Z1軸（檢出器）測長單元RT檢出器Z1軸（檢出器）分辨力0.04μm直線度（X軸水平姿勢）0.8μm/100 mm
更新時(shí)間：2020-07-31
1. 輪廓測量系統(tǒng)測量規(guī)格
Z1軸（檢出器）測量范圍 | 60 mm(水平狀態(tài)±30mm) | ||
Z1軸（檢出器）測長單元 | RT檢出器 | ||
Z1軸（檢出器）分辨力 | 0.04μm | ||
直線度（X軸水平姿勢） |
| 0.8μm/100 mm | |
指示精度 | X1 軸 |
| ±（0.8＋0.01L）μm L為驅(qū)動(dòng)長度（mm） 寬范圍：1.8μm/100mm 窄范圍：1.05μm/25mm |
（20℃） | Z1軸（檢出器） | ±（1.2＋｜2H｜/100）μm H：基于水平位置的測量高度（mm） | |
測針垂直動(dòng)作 | 弧形移動(dòng) | ||
測量方向 |
|
| 推/拉方向 |
測量面方向 |
|
| 向上/ 向下 |
測力 |
|
| 30 mN |
跟蹤角度 | 單切面測針SPH-71: | 爬升角77°/下降角83°（依表面粗糙度而定） | |
測針針尖 | 單切面測針SPH-71: | 角度12° 半徑25 μm 硬質(zhì)合金 | |
行程限制功能 | 范圍：-29mm~+29mm 定位精度范圍：±1mm | ||
輪廓測量系統(tǒng)?本體規(guī)格
X軸測量范圍 | 100 mm | ||
測長單元 | X軸 | STVC-10Z | |
Z2 軸（立柱） | ABSOLUTE 線性編碼器 | ||
分辨力 | X軸 | 0.05 μm | |
Z2 軸（立柱） | 1 μm | ||
X1 軸傾角范圍 |
| ±45° | |
Z2軸（立柱）移動(dòng)范圍 |
| 500mm | |
驅(qū)動(dòng)速度 | X1 軸 |
| 程控：0～80 mm/s JOY操作：0～40 mm/s |
Z2 軸（立柱） | 程控：0～30 mm/s JOY操作：0～30 mm/s | ||
測量速度 |
|
| 0.02、0.05、0.1、0.2、0.5、1.0、2.0、5.0、10、20、30 mm/s※ |
檢出器交換 |
|
| 配有熱插拔功能：無需關(guān)閉控制器。 （輪廓檢出器需要初始化） 配有免工具 安裝/拆卸 機(jī)構(gòu)（指旋器鎖緊桿） |
基座尺寸 |
| 600×450 mm | |
基座材料 |
|
| 花崗巖 |
外部尺寸：（W*D*H） | 主機(jī) |
| 759×482×1166 mm |
控制器 | 221×346×472 mm | ||
操作盒 | 248×102×62 mm | ||
質(zhì)量 | 主機(jī) |
| 150 kg |
控制器 | 14 kg | ||
遙控箱 | 0.9 kg | ||
精度保證范圍 | 19～21 ℃ | ||
精度保證溫度梯度 | 2 ℃/8h | ||
使用溫度范圍 |
| 5～40℃（校正與測量的溫度范圍波動(dòng)在±1℃以內(nèi)） | |
使用濕度范圍 |
| 20～80 %RH 無凝結(jié) | |
保存溫度范圍 |
| -10～50 ℃ | |
保存濕度范圍 |
| 5～90 %RH 無凝結(jié) | |
通訊接口 |
| USB | |
電源 |
|
| 100～120V、200～240 V±10%、AC50/60 Hz |
噪聲檢測 |
|
| A計(jì)全聲壓級(jí)：不超過70 dB(A) |
消耗功率 |
|
| 400 W |
※:測量速度推薦在5mm/s以下。（過高的話，測針容易損壞，精度會(huì)受到工件表面幾何形狀的影響）
包裝規(guī)格
包裝尺寸（W×D×H） | 1000×750×1500mm | ||
毛重 |
|
| 185kg |
3. 附件
3-1. 主機(jī)標(biāo)準(zhǔn)附屬品
貨號(hào) | 品名 | 備注 | 數(shù)量 |
355270 | 防塵罩 |
| 1 |
352637 | 潤滑油 | Z2 軸 (立柱) | 1 |
538613 | 六角扳手 公稱值1.5 | 用于安裝輪廓測針 | 1 |
538614 | 六角扳手 公稱值2 | 用原裝粗糙度測針 | 1 |
—— | 運(yùn)輸固定夾具 |
| 1套 |
12AAE675 | 配置盤 |
| 1 |
472730 | 保證書(大) |
| 1 |
—— | 檢查成績書 |
| 1 |
12AAU499 | 本體控制器通訊電纜 |
| 1 |
12AAF187 | 鏈接電纜（USB） |
| 1 |
12AAD806 | CV電纜 |
| 1 |
12AAM101 | 直測臂AB-31 |
| 1 |
354884 | 單切片測針 SPH-71 |
| 1 |
546-113 | 壓力表 DTG-10N |
| 1 |
12BAL534 | 配重 1 |
| 1 |
12BAL535 | 配重 2 |
| 1 |
12BAL536 | 配重 3 |
| 1 |
355148 | 配重固定螺釘 |
| 1 |
12AAN047 | 保護(hù)臂 |
| 1 |
537976 | 吊掛螺栓 |
| 4 |
535002 | 蓋帽 |
| 4 |
12BAE998 | 保險(xiǎn)絲 （已安裝1個(gè)） | φ5×20mm 250V 5A | 2 |
12BAE997 | 保險(xiǎn)管架 |
| 1 |
12BAM773 | 教學(xué)工件 |
| 1 |
12AAQ488 | 校正規(guī)（mm） |
| 1 |
611676-021 | 量塊 60 mm 等級(jí)0 |
| 1 |
611671-021 | 量塊 10 mm 等級(jí)0 |
| 1 |
99MBB744A | 用戶手冊(cè) | 英文 | 1 |
99MBB745A | 基本操作指南 | 英文 | 1 |
99MBB746A | 如何使用介紹 | 英文 | 1 |
99MBB747M | 安全標(biāo)簽粘貼手冊(cè) | 英文 | 1 |
02ZAA216 | 電擊警告標(biāo)簽 |
| 1 |
02ZAA217 | 機(jī)器移動(dòng)警告標(biāo)簽 |
| 1 |
DC019-0305 | CE 誓約書 |
| 1 |
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